Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| T/IAWBS 014-2021 | 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法 | 现行 | 2021-09-22 | —— |
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| SJ/T 11501-2015 | 碳化硅单晶晶型的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
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