Nanotechnologies—Electrical operating parameter test specification of wafer level nano-scale phase change memory cells
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 33657-2017 | 纳米技术晶圆级纳米尺度相变存储单元电学操作参数测试规范 | 现行 | 2017-12-01 | 找相似 |
| T/CSTM 01003-2023 | 相变存储器电性能测试方法 | 现行 | 2023-06-07 | —— |
| T/CIE 155-2023 | 非易失性相变存储器电性能测试方法 | 现行 | 2023-03-20 | —— |
| T/ZJBDT 001.4-2025 | 新型非易失性存储芯片（磁随机存储芯片、相变存储芯片、阻变存储芯片）存储性及可靠性测试方法 第4部分：阻变存储芯片测试 | 现行 | 2025-01-10 | —— |
| T/ZJBDT 001.3-2025 | 新型非易失性存储芯片（磁随机存储芯片、相变存储芯片、阻变存储芯片）存储性及可靠性测试方法 第3部分：相变存储芯片测试 | 现行 | 2025-01-10 | —— |
| T/ZJBDT 001.2-2025 | 新型非易失性存储芯片（磁随机存储芯片、相变存储芯片、阻变存储芯片）存储性及可靠性测试方法 第2部分：磁随机存储芯片测试 | 现行 | 2025-01-10 | —— |
| T/ZJBDT 001.1-2025 | 新型非易失性存储芯片（磁随机存储芯片、相变存储芯片、阻变存储芯片）存储性及可靠性测试方法 第1部分：总则 | 现行 | 2025-01-10 | —— |
| GB/T 22462-2008 | 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 元素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 | 现行 | 2009-06-01 | 找相似 |
| GB/T 40868-2021 | 纳米尺度科研生产受控环境规划与设计 | 现行 | 2022-05-01 | 找相似 |
| DB32/T 4378-2022 | 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 | 现行 | 2022-11-23 | 找相似 |
| GB/T 47073-2026 | 表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析 | 即将实施 | 2026-08-01 | 找相似 |
| GB/T 44517-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 | 现行 | 2025-04-01 | 找相似 |
| T/SICA 006-2024 | 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求 | 现行 | 2024-07-07 | —— |
| GB/T 26044-2010 | 信号传输用单晶圆铜线及其线坯 | 现行 | 2011-10-01 | 找相似 |
| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 找相似 |
| GB/T 42706.5-2023 | 电子元器件 半导体器件长期贮存 第5部分：芯片和晶圆 | 现行 | 2023-09-01 | 找相似 |
| SJ/T 11761-2020 | 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| GB/T 44687-2024 | 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮 | 现行 | 2025-04-01 | 找相似 |