首页/GB/T 13389-2014 相似标准

掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon

GB/T 13389-2014推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-02-20
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GB/T 13389-2014 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 29508-2013300mm 硅单晶切割片和磨削片现行2013-05-092014-02-01
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T/IAWBS 016-2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法现行2022-03-172022-03-24
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T/IAWBS 014-2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法现行2021-09-152021-09-22
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31