Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/IAWBS 012-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-11-01 | —— |
| T/IAWBS 001-2017 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2017-12-31 | —— |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | —— | 找相似 |
| JC/T 2796-2023 | 碳化硅单晶用高纯石墨粉 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| YS/T 1167-2016 | 硅单晶腐蚀片 | 现行 | 2017-01-01 | 找相似 |
| SJ/T 11501-2015 | 碳化硅单晶晶型的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11494-2015 | 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11500-2015 | 碳化硅单晶晶向的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB 47835-2026 | 硅单晶单位产品能源消耗限额 | 即将实施 | 2027-01-01 | 找相似 |
| GB/T 32278-2015 | 碳化硅单晶片平整度测试方法 | 废止 | 2017-01-01 | 找相似 |
| GB/T 31351-2014 | 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 30866-2014 | 碳化硅单晶片直径测试方法 | 废止 | 2015-02-01 | 找相似 |
| GB/T 30867-2014 | 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 | 废止 | 2015-02-01 | 找相似 |
| SJ/T 11499-2015 | 碳化硅单晶电学性能的测试方法 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |