硅外延片

Silicon epitaxial wafers

GB/T 14139-2009推荐性国家标准

废止

GB/T 14139-2009 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 43493.3-2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分:缺陷的光致发光检测方法现行2024-07-01找相似
GB/T 30653-2014Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法现行2015-09-01找相似
GB/T 35308-2017太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片现行2018-07-01找相似
GB/T 30854-2014LED发光用氮化镓基外延片现行2015-04-01找相似
GB/T 37053-2018氮化镓外延片及衬底片通用规范现行2019-07-01找相似
T/CASAS 027-2023射频GaN HEMT外延片二维电子气迁移率非接触霍尔测量方法现行2023-07-01——
SJ/T 11471-2014发光二极管外延片测试方法现行2015-04-01找相似
SJ/T 11470-2014发光二极管外延片现行2015-04-01找相似
DB13/T 5118-20194H 碳化硅 N 型同质外延片通用技术要求 [河北省]废止2019-12-28找相似
GB/T 42905-2023碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法现行2024-03-01找相似
GB/T 30652-2023硅外延用三氯氢硅现行2024-03-01找相似
GB/T 14142-2017硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法现行2018-04-01找相似
GB/T 14847-2010重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法废止2011-10-01找相似
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法废止2013-10-01找相似
SJ/T 10481-1994硅外延层电阻率的面接触三探针方法现行1994-10-01找相似
GB/T 14141-2009硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法现行2010-06-01找相似
YS/T 23-2016硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法现行2016-09-01找相似
GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法现行2021-12-01找相似