半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement

GB/T 42271-2022推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-18
格式:pdf

GB/T 42271-2022 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 47082-2026碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法即将实施2026-01-282026-08-01
GB/T 30656-2023碳化硅单晶抛光片现行2023-03-172023-10-01
T/ZZB 2283-2021半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉现行2021-08-262021-09-26
T/CIET 1279-2025碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法(PVT)现行2025-05-142025-05-14
T/CASAS 048-2025碳化硅单晶生长用等静压石墨现行2025-04-232025-04-23
T/CASAS 036-2025碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法现行2025-04-232025-04-23
T/IAWBS 016-2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法现行2022-03-172022-03-24
T/IAWBS 001-2021碳化硅单晶现行2021-09-162021-09-23
T/IAWBS 014-2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法现行2021-09-152021-09-22
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 001-2017碳化硅单晶现行2017-12-202017-12-31
GB/T 47404-2026碳化硅单晶即将实施
JC/T 2796-2023碳化硅单晶用高纯石墨粉现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1600-2023碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法现行2023-04-212023-11-01
SJ/T 11501-2015碳化硅单晶晶型的测试方法现行2015-04-302015-10-01
SJ/T 11503-2015碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法现行2015-04-302015-10-01
SJ/T 11504-2015碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法现行2015-04-302015-10-01