Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 47752-2026 | 微机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法 | 即将实施 | 2027-02-01 | 相似 |
| GB/T 41853-2022 | 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 | 现行 | 2022-10-12 | 相似 |
| GB/T 41852-2022 | 半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法 | 现行 | 2022-10-12 | 相似 |
| GB/T 32817-2016 | 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 | 现行 | 2017-03-01 | 相似 |
| GB/T 38446-2020 | 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 | 现行 | 2020-10-01 | 相似 |
| GB/T 34898-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 | 现行 | 2018-05-01 | 相似 |
| GB/T 26113-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 | 现行 | 2011-10-01 | 相似 |
| GB/T 26112-2010 | 微机电系统（MEMS）技术微机械量评定总则 | 现行 | 2011-10-01 | 相似 |
| GB/T 42158-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 | 现行 | 2023-07-01 | 相似 |
| GB/T 26111-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 术语 | 现行 | 2023-09-01 | 相似 |
| GB/T 42597-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 | 现行 | 2023-09-01 | 相似 |
| GB/T 44515-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法 | 现行 | 2025-01-01 | 相似 |
| GB/T 44849-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法 | 现行 | 2025-05-01 | 相似 |
| GB/T 44513-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法 | 现行 | 2025-01-01 | 相似 |
| GB/T 44919-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法 | 现行 | 2024-11-28 | 相似 |
| GB/T 44517-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法 | 现行 | 2025-04-01 | 相似 |
| GB/T 44839-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法 | 现行 | 2025-02-01 | 相似 |
| GB/T 44529-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器 | 现行 | 2024-09-29 | 相似 |