Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 44842-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法 | 现行 | 2024-10-26 | 找相似 |
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-12-01 | 找相似 |
| GB/T 44514-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法 | 现行 | 2024-09-29 | 找相似 |
| GB/T 34893-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 | 现行 | 2018-05-01 | 找相似 |
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| GB/T 34894-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 | 现行 | 2018-05-01 | 找相似 |
| GB/T 34900-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 | 现行 | 2018-05-01 | 找相似 |
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| GB/T 47719-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法 | 即将实施 | 2026-09-01 | 找相似 |
| GB/T 26111-2010 | 微机电系统（MEMS）技术 术语 | 废止 | 2011-10-01 | 找相似 |