锗单晶和锗单晶片

Monocrystalline germanium and monocrystalline germanium slices

GB/T 5238-2009 推荐性国家标准

废止

GB/T 5238-2009 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号 标准名称 状态 实施日期 相似标准
GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 现行 2011-10-01 找相似
GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法 现行 2025-02-01 找相似
GB/T 43894.2-2026 半导体晶片近边缘几何形态评价 第2部分:边缘卷曲法(ROA) 即将实施 2026-08-01 找相似
T/CASAS 003-2018 p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片 现行 2018-11-20 ——
T/ZSA 38-2020 SiC晶片的残余应力检测方法 现行 2020-12-18 ——
T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 现行 2023-06-19 ——
T/CASAS 013-2021 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法 现行 2021-12-01 ——
T/IAWBS 008-2019 SiC晶片的残余应力检测方法 现行 2019-12-31 ——
T/WLJC 59-2019 石英晶片倒边波形筒 现行 2019-04-22 ——
T/WLJC 58-2019 晶片精密研磨盘用修正轮 现行 2019-04-22 ——
T/WLJC 57-2019 晶片精密研磨盘 现行 2019-04-22 ——
YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范 现行 2015-04-01 找相似
SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法 现行 2015-10-01 找相似
SJ/T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 现行 2015-10-01 找相似
SJ/T 11492-2015 光致发光法测定磷镓砷晶片的组分 现行 2015-10-01 找相似
GZB 6-08-02-05 压电石英晶片加工工 现行 2003-02-08 找相似
GB/T 43894.3-2026 半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分:扇形区域平整度法(ESFQR、ESFQD、ESBIR) 即将实施 2027-02-01 找相似
GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范 废止 1997-04-01 找相似