太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

GB/T 32281-2015推荐性国家标准

现行

GB/T 32281-2015 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
GB/T 24577-2009热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物现行2010-06-01找相似
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GB/T 6617-2009硅片电阻率测定 扩展电阻探针法现行2010-06-01找相似
GB/T 40110-2021表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染现行2021-12-01找相似
GB/T 19444-2004硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法废止2004-07-01找相似
GB/T 26067-2010硅片切口尺寸测试方法现行2011-10-01找相似
GB/T 29507-2013硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法现行2014-02-01找相似
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GB/T 6621-2009硅片表面平整度测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 19922-2005硅片局部平整度非接触式标准测试方法现行2006-04-01找相似
GB/T 32280-2022硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法现行2022-10-01找相似
GB/T 6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 13388-2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 6619-2009硅片弯曲度测试方法现行2010-06-01找相似
DB15/T 4004-2025温室气体 产品碳足迹量化方法与要求 光伏硅片 [内蒙古自治区]现行2025-05-18找相似
GB/T 29505-2013硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法现行2014-02-01找相似
GB/T 26068-2018硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法现行2019-11-01找相似