| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| SJ/T 11762-2020 | 半导体设备制造信息标识要求 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| SJ/T 11761-2020 | 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| SJ/T 11763-2020 | 半导体制造设备人机界面规范 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
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| GB/T 36646-2018 | 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 | 现行 | 2019-01-01 | 找相似 |
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| T/SICA 008-2025 | 半导体IBO套刻设备验收规范 | 现行 | 2025-07-03 | —— |